北京芯合半导体有限公司评价项目信息公示表

建设单位

北京芯合半导体有限公司

地理位置

北京经济技术开发区通惠干渠路17号

联系人

张佳磊

项目信息

项目名称

北京芯合半导体碳化硅功率器件项目

项目简介

项目名称：北京芯合半导体碳化硅功率器件项目

建设单位：北京芯合半导体有限公司

建设地址：北京经济技术开发区通惠干渠路17号

建设性质：新建项目

建设规模：拟建设一条“4英寸（兼容6英寸）”SiC功率器件生产线，建成后，SiC功率器件生产线将年产肖特基二极管SBD900万只、MOSFET300万只。

项目总投资：14000万

报告书信息

项目负责人

赵培

报告审核人

王立平、程然

报告编制人

杜晓悦、赵博

检测人

不涉及

建设单位陪同人

张佳磊

现场调查时间

不涉及

现场检测时间

不涉及

职业病防护设施设计

防毒设施

1. 腐蚀性/毒性特种气体采用气瓶柜或阀门箱和管道输送的形式，腐蚀性/毒性特种气体、废液输送管道采用双层套管，阀门采用隔膜阀。

2. 特气系统单独委托由具备资质的设计院进行设计，拟采用特种气体侦测系统(GDS)和气体设备监控系统(GMS)进行气体侦测和就地自动化控制，GDS 的主要目的为通过对所有潜在的危险气体泄漏点及气体输送设备工作状态的监控，在保证人员安全的前提下，尽可能的保证生产连续并不受干扰的进行。气体设备监控系统(GMS)为基于 PLC 和图形监控界面的独立实时监控系统，可实现：气体输送设备运行数据及状态（含压力、重量数据及报警、阀门开关状态等）；尾气处理设备故障报警（报警/正常，干接点信号）；与 GDS 系统整合，显示 GDS 报警显示功能；气体监控系统侦测器弹出窗口能够显示侦测器状态信息等功能。

3. 气体分发系统设计为密闭系统，并配备强制排风系统，排风系统与废气处理设施相连。在气体分发装置的排气口处安装气体探测装置、联锁关闭装置等。

4. 设备清洗和维护过程采用移动式排风系统（吹扫小车），先使用惰性气体进行吹扫，避免残留有毒有害物质。

5. 湿法间域使用自带排风的可密闭清洗台。

6. 生产线产生的酸性气体、碱性废气和有机废气等有毒、有害气体设置独立的收集、处理和排放系统。工艺生产过程中(光刻、清洗工序)产生的丙酮、异丙醇等有机废气，先经转轮吸附、浓缩，浓缩后的废气经天然气混合燃烧，达标后排入大气。蚀刻区等有特种的烃类有毒气体产生，先经就地的专用处理设备燃烧处理，后经多级喷淋和湿式静电除尘，再排入屋面酸废气喷淋塔处理，达标后排入大气。

7. 各化学品暂存间化学品采用桶/罐装或瓶装密闭装运，液体化学物质、气体化学物质按理化特性等分别储存，转运过程保持密闭。

8. 拟采用双层管道形式（PVC套管）将酸碱废液输送至酸碱废液暂存间的密闭存储容器内，减少人工接触可能性。

9. 污水处理站的含氟废水、酸性废水、碱性废水储存及处理装置采用密闭的槽体。

10. 污水处理间、纯水制备设备区域设机械排风设施。

防噪声设施

1. 通风、空调设备设置减振垫、减振吊架等减振装置，空调系统的送回风管设消声器、消声弯头，管道进出口加接柔性软接头。

2. 洁净区地板采用蜂窝板回风，合理控制气流速度，减小流体噪声对工作场所的影响。

3. 洁净厂房空调机组单独布置于动力站，与主厂房间隔。

4. 空压机、水泵、冷冻机等动力设备分隔安装在动力站内，对振动较强的动力设备设置水泥基座+钢构+减振弹簧综合减振、隔振基础。

5. 对噪声较大的设备，房间内壁敷设吸声材料，采用隔声门窗。

防电磁辐射措施

1. 产生高频电磁场的主要有离子注入机[1]、溅射台等设备的射频发生器等，选用自带安全联锁设施的设备。

产生激光辐射的激光退火设备选用自带屏蔽装置设备，观察窗需采用深色玻璃，设置有效接地，设备密闭运行。

评价结论

职业病危害控制的预期效果

本设计根据生产工艺及设备产生的职业病危害因素，有针对性的进行了职业病防护设施设计，结合同类建设项目的调查及检测结果，预计正常生产且各项职业病防护设施落实到位，同时加强职业卫生管理的前提下，职业病危害防治效果良好，可满足国家职业卫生相关法律、法规、标准、规范的要求。

技术审查专家组评审意见

专家组建议：

细化物料用量的分析；细化各化学品暂存间、酸碱废液暂存间、气体供应间的职业病防护设施设计；完善应急救援设施的设计。

专家组同意通过该《设计专篇》。建设单位应按照专家评审意见组织相关人员对《设计专篇》进行修改完善并存档备查。